PC-4420A |
有 |
336
6"(150mm)wafer: 5
8"(200mm)wafer: 4
12"(300mm)wafer: -- |
46000 |
PC-8820B
PC-8820B-LT
PC-8820C-LT |
有 |
840
6"(150mm)wafer: 15
8"(200mm)wafer: 8
12"(300mm)wafer: 3 |
70000(220V/60Hz)
65000(230V/50Hz) |
PC-9920A
PC-9920A-LT |
有 |
940
6"(150mm)wafer: 24
8"(200mm)wafer: 12
12"(300mm)wafer: 6 |
70000(220V/60Hz)
65000(230V/50Hz) |
PC-10020-LT |
有 |
940
6"(150mm)wafer: 28
8"(200mm)wafer: 15
12"(300mm)wafer: 6 |
70000(220V/60Hz)
65000(230V/50Hz) |
*基于25针EPROM
*采用Spectronics(SP)公司AccuMax XR-1000主机及XS-254传感器进行强度测度。 |