Eprom及Wafer晶圆擦除产品主页


PE系列小型UV擦除器
PL及PR系列中型擦除器
PC系列大型UV擦除系统
PC系列超大型系统
Wafer晶圆擦除系统

数字紫外线强度计

Wafer表面检查灯

紫外线防护眼镜

PC系列PC-8820B,PC-8820B-LT,PC-9920A,PC-9920A-LT及PC-10020为超大型EPROM/Wafer晶圆擦除系统。它们采用超高强度无臭氧低压格式紫外灯组,灯组为模块式设计,固定在特殊的铝反射罩上。EPROM及Wafer晶圆擦除,可一次擦除8-15片8"Wafer硅圆片或3-6片12"Wafer硅圆片。

采用最新的技术,提供杰出的紫外均匀照射以确保快速及完全擦除每一EPROM,或Wafer硅圆片上的内存。初始紫外强度高达70000uw/cm2(70mw/cm2),擦除时间快至90秒!

注:擦除时间计算基于6W秒/cm2擦除能量,并且擦除系统工作温度为100F华氏度(37.8摄氏度)
PC-8820B
  • 8套低压格式汞灯组
  • 名义初始短波紫外强度为70,000 uw/cm2(微瓦每平方厘米)
  • 可装入15片6"Wafer硅圆片或8片8"Wafer硅圆片或3片12"Wafer硅圆片
PC-8820B-LT
  • 在PC-8820B的基础上增配红/黄/绿状态显示灯
  • 8套低压格式汞灯组
  • 名义初始短波紫外强度为70,000 uw/cm2(微瓦每平方厘米)
  • 可装入15片6"Wafer硅圆片或8片8"Wafer硅圆片或3片12"Wafer硅圆片
PC-8820C-LT

PC-8820C-LT
在PC-8820B-LT基础上增加以下特性:
  • 内部安全连锁-确保系统运行过程中抽半(托盘)完全关闭及锁好
  • “摇杆式”开关按钮-便于用户快速、轻松地控制格式灯、报警及抽斗(托盘)的"锁/开"状态。
  • 控制面板盖-配备1/4英寸(6.4mm)厚工程丙烯酸保护盖,保护开关及控制面板免受损坏及弄脏。
  • 到达设定时间声音报警-当到达设定的擦除时间时声音报警以提示操作人员。
  • 格式灯故障报警-当一支或多支格式灯不工作时发出声音报警。
PC-9920A及PC-9920A-LT
  • 9套低压格式汞灯组
  • 名义初始短波紫外强度为70,000 uw/cm2(微瓦每平方厘米)
  • 可装入24片6"Wafer硅圆片或12片8"Wafer硅圆片或6片12"Wafer硅圆片
  • PC-9920A-LT增配红/黄/绿状态显示灯
PC-10020-LT
  • 10套低压格式汞灯组
  • 名义初始短波紫外强度为70,000 uw/cm2(微瓦每平方厘米)
  • 可装入28片6"Wafer硅圆片或15片8"Wafer硅圆片或6片12"Wafer硅圆片
  • 配红/黄/绿状态显示灯
在PC系统的特性基础上PC-8820B,PC-8820B-LT,PC-9920A,PC-9920A-LT及PC-10020增加以下特性
  • 先进的紫外灯管设计-超强格式低压紫外灯组满足目前最高的设计及性能要求。
  • 增强的紫外强度输出-至少比竞争者的紫外强度高出60%以上
  • 特殊的快速上下料托盘-带台阶的托盘,便于安全方便上下料。可以事先装载EPROM、PC板及Wafer硅圆片。
  • 数字计时器-操作人员事先设定需要的擦除时间,到达时间自动关机。可设为小时、分钟或秒。
  • 增强内部通风系统-保证此外照射均匀并且延长格式灯的使用寿命
  • 两层,模块式设计-结实阳极化铝及不锈钢结构,便于贮存及维护。
  • 温度计-显示内部运行温度
  • 特殊通风罩-增强通风及防止紫外线暴露
  • 手动风扇转速调节-上层单元风扇转速可调以便系统在最佳温度运行。
特大型抽斗(托盘)便于装载更多的EPROM及Wafer硅圆片。
  • 超深设计便于装载PC板及度量卡(Metric Cards)
  • 超宽设计便于装入开口试管,以便进行大批量擦除。
  • 抽斗(托盘)可完全拉开方便上下料
  • 适合于PC板、度量卡(Metric Cards)及硅圆片,直径为6-12"。
 
  PC-8820B/PC-8820B-LT/PC-8820C-LT PC-9920A/PC-9920A-LT PC-10020-LT
紫外光源 8套低压格式汞灯组 9套低压格式汞灯组 10套低压格式汞灯组
名义初始紫外强度*

220V/60Hz:70,000 uw/cm2(微瓦每平方厘米) 当运行温度为100F华氏度(37.8C摄氏度)时
230V/50Hz:65,000 uw/cm2(微瓦每平方厘米) 当运行温度为100F华氏度(37.8C摄氏度)时

擦除时间 1.5分钟(基于6W秒/cm2擦除能量要求的EPROM)
2.5分钟(基于10W秒/cm2擦除能量要求的EPROM)
3.6分钟(基于15W秒/cm2擦除能量要求的EPROM)
一次最大擦除能力
     
6"Wafer硅圆片 15 24 28
8"Wafer硅圆片 8 12 15
12"Wafer硅圆片 3 6 6
尺寸
上层单元 91.4x84.5x22.9cm 102.9x92.7x22.9cm 117.9x88.9x22.9cm
下层单元 91.4x84.5x22.9cm 91.4x81.3x22.9cm
通风罩(长x宽x高) 79.4x26.7x38.1cm 81.3x26.7x38.1cm 94.6x26.7x39.4cm
       
内抽斗(托盘)尺寸
(长x宽x高)
82.3x67.9x3.6cm 93.3x71.1x4.4cm 106.7x71.1x4.4cm
擦除区域(长x宽) 81.3x50.8cm2 91.4x61cm2 106.7x63.5cm2
净重 125kg 172kg 191kg
需电源 220V/60Hz,230V/50Hz
所有型号后面加/FA表示交流电工作电压为220V中国电压。
*采用Spectronics(SP)公司AccuMax XR-1000主机及XS-254传感器进行强度测度。
 
更换件及附件  
EC-0235 PC-8820B,PC-8820B-LT,PC-8820C-LT,PC-9920A,PC-9920A-LT及PC-10020-LT用数字计时器
G985NO-B PC-8820B,PC-8820B-LT,PC-8820C-LT用格式灯组
G995NO PC-9920A,PC-9920A-LT用格式灯组
G1005NO PC-10020-LT用格式灯组
I-8820-6X PC-8820B,PC-8820B-LT,PC-8820C-LT用6"Wafer硅圆片抽斗(托盘)
I-8820-6X/WF PC-8820B,PC-8820B-LT,PC-8820C-LT用6"Wafer硅圆片抽斗(托盘),带夹具。
I-8820-8X PC-8820B,PC-8820B-LT,PC-8820C-LT用8"Wafer硅圆片抽斗(托盘)
I-8820-8X/WF PC-8820B,PC-8820B-LT,PC-8820C-LT用8"Wafer硅圆片抽斗(托盘),带夹具。
I-8820-12X PC-8820B,PC-8820B-LT,PC-8820C-LT用12"Wafer硅圆片抽斗(托盘)
I-8820-12X/WF PC-8820B,PC-8820B-LT,PC-8820C-LT用12"Wafer硅圆片抽斗(托盘),带夹具。
I-9920-6X PC-8820B,PC-8820B-LT,PC-8820C-LT用6"Wafer硅圆片抽斗(托盘)
I-9920-6X/WF PC-9920A,PC-9920A-LT用6"Wafer硅圆片抽斗(托盘),带夹具。
I-9920-8X PC-9920A,PC-9920A-LT用8"Wafer硅圆片抽斗(托盘)
I-9920-8X/WF PC-9920A,PC-9920A-LT用8"Wafer硅圆片抽斗(托盘),带夹具。
I-9920-12X PC-9920A,PC-9920A-LT用12"Wafer硅圆片抽斗(托盘)
I-9920-12X/WF PC-9920A,PC-9920A-LT用12"Wafer硅圆片抽斗(托盘),带夹具。
I-10020-6X PC-10020-LT用6"Wafer硅圆片抽斗(托盘)
I-10020-6X/WF PC-10020-LT用6"Wafer硅圆片抽斗(托盘),带夹具。
I-10020-8X PC-10020-LT用8"Wafer硅圆片抽斗(托盘)
I-10020-8X/WF PC-10020-LT用8"Wafer硅圆片抽斗(托盘),带夹具。
I-10020-12X PC-10020-LT用12"Wafer硅圆片抽斗(托盘)
I-10020-12X/WF PC-10020-LT用12"Wafer硅圆片抽斗(托盘),带夹具。
 
G995NO:PC-9920A,PC-9920A-LT用格式灯组(PC-9920A装有九套格式灯组)
I-8820-8X:PC-8820B,PC-8820B-LT,PC-8820C-LT用8"Wafer硅圆片抽斗(托盘)
I-8820-8X/WF:PC-8820B,PC-8820B-LT,PC-8820C-LT用8"Wafer硅圆片抽斗(托盘),带夹具。
 
 
    以上产品为美国Spectronics公司(简称SP公司)原装进口。
  美国Spectronics(SP)公司成立于1955年,是美国最大的紫外线产品生产厂之一,生产的紫外线产品超过1000个品种,广泛应用于不同的行业。其优良的紫外线产品被获得诺贝尔奖的科学家使用进行基因基础研究。 
  北京博朗特科技有限公司是SP公司全系列产品中国总代理。
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